半導體設備、太陽能光伏設備、液晶濕制程設備、真空設備等
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更新日期2015-08-21 16:46
品牌： |
CSE |
所在地： |
江蘇 蘇州市 |
起訂： |
≥1 臺 |
供貨總量： |
1111 臺 |
有效期至： |
長期有效 |
規(guī)格： |
3000*1500*2000mm |
產品別名： |
半導體硅晶圓顯影定影機 |
用途： |
半導體分立器件的濕法制程刻蝕 |
產品簡介：
本設備可用于半導體工藝中對各種規(guī)格尺寸硅晶片進行顯影和定影，
整臺設備均采用德國進口PP材料，經雕刻后組合焊接加工而成。
雙排槽構成，每排7槽（根據工藝確定），各設一套機械手，兩排可同時完成相應的工序。
每槽裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）。
工作區(qū)潔凈度：100級。槽間工藝轉換時間：Tm ax≤3.5S，工藝過程為全自動，全程PLC控制，觸摸屏操作。
結構設計合理，外型美觀。適用于微電子半導體行業(yè)，也適合于高校化學實驗室作實驗濕臺、腐蝕臺。
非標規(guī)格，具體規(guī)格依客戶工藝確
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