超純水設備是反滲透設備跟離子交換混床或EDI相結合配套使用，離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質溶液中進行的，可去除水中的各種陰、陽離子，是目前制備超純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。當原水通過離子交換柱時，水中的陽離子和水中的陰離子（HCO3-等離子）與交換柱中的陽樹脂的H+離子和陰樹脂的OH-離子進行交換，從而達到脫鹽的目的。陽、陰混柱的不同組合可使水質達到更高的要求，生產出達到更高標準的超純水。

超純水工藝流程

1、反滲透設備+離子交換設備：

原水→原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑投加設備→精密過濾器→高壓泵→反滲透主機（單級或者雙級）→CQ2脫氣塔→中間水箱→中間水泵→離子交換床→終端過濾器→超純水

2、反滲透設備+EDI裝置：

 原水→原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑投加設備→精密過濾器→高壓泵→反滲透主機（單級或者雙級）→CQ2脫氣塔→中間水箱→中間水泵→EDI裝置→超純水