這沒(méi)有理論模型可言，只有通過(guò)實(shí)踐、實(shí)驗(yàn)、分析?；に嚰蜏氐入x子體、微波放電、極板放電與一體，在實(shí)際使用中實(shí)現(xiàn)廢氣的有效處理是極為復(fù)雜的過(guò)程，整個(gè)過(guò)程在不到1秒的時(shí)間內(nèi)完成。從理論到模型都能探究到相關(guān)的機(jī)理，通過(guò)三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時(shí)間內(nèi)躍遷到足以使其電離的Em級(jí)，廢氣分子鍵充分?jǐn)嗔?，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質(zhì)量更小，被進(jìn)一步躍遷，與反應(yīng)堆內(nèi)的氧離子氫氧根離子發(fā)生反應(yīng)，生成無(wú)害無(wú)味的CO2、H2O以及其它高價(jià)化合物。同時(shí)由于反應(yīng)堆內(nèi)臭氧以及紫外線的作用，徹底去除不同范疇的廢氣化合物，實(shí)地較為廣譜的去除空間。

高壓靜電除塵器是以靜電凈化法進(jìn)行收捕煙氣中粉塵的裝置。是凈化工業(yè)廢氣的理想設(shè)備。它的凈化工作主要依靠放電極和沉淀極這兩個(gè)系統(tǒng)來(lái)完成。當(dāng)兩極間輸入高壓直流電時(shí)在電極空間，產(chǎn)生陰、陽(yáng)離子，并作用于通過(guò)靜電場(chǎng)的廢氣粒子表面，在電場(chǎng)力的作用下向其極性相反的電極移動(dòng)，并沉積于電極上，達(dá)到收塵目的。兩極系統(tǒng)均有振打裝置，當(dāng)振打錘周期性的敲打兩極裝置時(shí)，粘附在其上的粉塵被抖落，落入下部灰斗經(jīng)排灰裝置排出機(jī)外。被凈化了的廢氣由出口經(jīng)煙囪排入大氣中，此時(shí)完成了煙氣凈化過(guò)程。

當(dāng)廢氣進(jìn)入等離子光解一體機(jī)凈化設(shè)備內(nèi)時(shí)，先經(jīng)過(guò)等離子體化學(xué)反應(yīng)過(guò)程，即電子首先從電場(chǎng)獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離， 從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。(在外加電場(chǎng)的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹?jiǎn)單小分子安全物質(zhì)，或使有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無(wú)害或低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。)然后部分有機(jī)廢氣再通過(guò)破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無(wú)害無(wú)味氣體。采用C波段光線強(qiáng)裂污染氣體分子鏈，改變物質(zhì)分子結(jié)構(gòu)，將高分子污染物質(zhì)裂解、氧化成為低分子無(wú)害物質(zhì)，如水和二氧化碳等。O3強(qiáng)催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細(xì)菌，將有害物質(zhì)破壞且改變成為低分子無(wú)害物質(zhì)。在C波段激光刺激催化劑涂層產(chǎn)生活性，強(qiáng)化催化氧化作用。在分解過(guò)程中產(chǎn)生高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對(duì)有機(jī)物具有極強(qiáng)的氧化作用，對(duì)惡臭氣體及其它刺激性異味有極強(qiáng)的清除效果。O3也為強(qiáng)催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中細(xì)菌的分子鍵，破壞細(xì)菌的核酸（DNA），再通過(guò)臭氧進(jìn)行氧化反應(yīng)，達(dá)到脫臭及殺滅菌的目的。