低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。   DBD等離子體反應區(qū)富含極高的物質，如高能電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發(fā)生反應，使污染物質在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統(tǒng)的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，DBD等離子體技術放電量是電暈放電的50倍，放電密度是電暈放電的130倍。所以,傳統(tǒng)低溫等離子體技術只能用于室內空氣異味治理,與其他低溫等離子體技術相比較，DBD等離子體技術是用于工業(yè)化工藝廢氣。

低溫等離子體工業(yè)廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣態(tài)污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環(huán)境科學于一體的交叉綜合性電子化學技術，由于能很容易使污染物分子高效分解且處理能耗低等特點，是目前國內外大氣污染治理中最富有前景、最行之有效的技術方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為工業(yè)領域VOC類有機廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路。

主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質齒板放電裝置，尖端放電形式產生高濃度離子。等離子體是一種聚集態(tài)物質，其所擁有的高能電子能在毫秒級的時間內，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發(fā)生一系列分化裂解反應，產生高濃度、高強度、高能量的活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發(fā)生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態(tài)氧，即臭氧分解而產生的原子氧。

低溫等離子廢氣處理設備功能特點：

1. 具有一次性凈化效率高，能同時凈化多種污染物;

2. 防火性能采用開關，電源，電路三重自動保護，持久的凈化功能，無須專人看管;

3. 設備體積小，結構緊湊，工藝成熟;

4. 設備投資少，運行成本低;

5. 安全穩(wěn)定，維護方便，使用壽命長;

6. 凈化效率高，無二次污染。