電容位移傳感器廣泛用于金屬薄片厚度測量，振動測量，工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量，精密馬達轉(zhuǎn)軸偏振測量(Axial、Radial、Spindle runout)，精密儀器工作平臺定  位，設備自動***測量(微影設備，原子力顯微鏡，光罩探測，圖像確認，LCD生產(chǎn)設備…)

電容式位移傳感器特性：

1、非接觸式電容式微位移測量—準確的電子感應技術，無損樣品測量；

2、優(yōu)化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米；

3、高準確性，高靈敏性測量，精度可達0.5nm；

4、可探測任何可傳導性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質(zhì)對測量準確度無任何影響。

設備性能及主要參數(shù)：

1、量程：±25μm 到±1000μm滿量程測量

2、分辨率：優(yōu)于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz

3、帶寬：1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz 可選

更多產(chǎn)品信息來源：http://www.dymek.com.cn/SonList-2174195.html

https://www.chem17.com/st110205/erlist_2174195.html