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更新日期2024-03-27 11:22
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電容位移傳感器廣泛用于金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉(zhuǎn)軸偏振測量(Axial、Radial、Spindle runout),精密儀器工作平臺定 位,設備自動***測量(微影設備,原子力顯微鏡,光罩探測,圖像確認,LCD生產(chǎn)設備…)
電容式位移傳感器特性:
1、非接觸式電容式微位移測量—準確的電子感應技術,無損樣品測量;
2、優(yōu)化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米;
3、高準確性,高靈敏性測量,精度可達0.5nm;
4、可探測任何可傳導性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質(zhì)對測量準確度無任何影響。
設備性能及主要參數(shù):
1、量程:±25μm 到±1000μm滿量程測量
2、分辨率:優(yōu)于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
3、帶寬:1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz 可選
更多產(chǎn)品信息來源:http://www.dymek.com.cn/SonList-2174195.html
https://www.chem17.com/st110205/erlist_2174195.html
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