電容位移傳感器廣泛用于金屬薄片厚度測(cè)量，振動(dòng)測(cè)量，工作臺(tái)垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測(cè)量，精密馬達(dá)轉(zhuǎn)軸偏振測(cè)量(Axial、Radial、Spindle runout)，精密儀器工作平臺(tái)定  位，設(shè)備自動(dòng)***測(cè)量(微影設(shè)備，原子力顯微鏡，光罩探測(cè)，圖像確認(rèn)，LCD生產(chǎn)設(shè)備…)

電容式位移傳感器特性：

1、非接觸式電容式微位移測(cè)量—準(zhǔn)確的電子感應(yīng)技術(shù)，無(wú)損樣品測(cè)量；

2、優(yōu)化的近距離測(cè)量—測(cè)量距離在10微米到5毫米；

3、高準(zhǔn)確性，高靈敏性測(cè)量，精度可達(dá)0.5nm；

4、可探測(cè)任何可傳導(dǎo)性、接地的測(cè)量目標(biāo)—表面是否拋光以及材質(zhì)對(duì)測(cè)量準(zhǔn)確度無(wú)任何影響。

設(shè)備性能及主要參數(shù)：

1、量程：±25μm 到±1000μm滿(mǎn)量程測(cè)量

2、分辨率：優(yōu)于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz

3、帶寬：1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz 可選

更多產(chǎn)品信息來(lái)源：http://www.dymek.com.cn/SonList-2174195.html

https://www.chem17.com/st110205/erlist_2174195.html