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更新日期2024-05-15 11:19
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Sensofar白光干涉共聚焦技術(shù)是一種高精度的光學(xué)測(cè)量技術(shù),結(jié)合了白光干涉和共聚焦技術(shù),用于測(cè)量和分析各種材料表面的形貌、粗糙度、薄膜厚度等參數(shù)。
白光干涉技術(shù)是一種基于干涉原理的測(cè)量方法,利用一束白光經(jīng)過(guò)樣品表面反射后與另一束參考光產(chǎn)生干涉,通過(guò)測(cè)量干涉條紋的位移和形狀,可以獲取樣品表面的形貌信息。這種技術(shù)對(duì)于光滑至適度粗糙的表面具有非常高的測(cè)量精度和分辨率。
共聚焦技術(shù)則是通過(guò)調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)的焦距,使得測(cè)量光束在樣品表面形成一個(gè)非常小的聚焦點(diǎn),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面微小區(qū)域的精確測(cè)量。共聚焦技術(shù)具有非常高的橫向分辨率,可以達(dá)到納米級(jí)別,適用于測(cè)量各種復(fù)雜形狀和結(jié)構(gòu)的樣品。
Sensofar白光干涉共聚焦技術(shù)將這兩種技術(shù)結(jié)合起來(lái),通過(guò)優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)和算法,實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品表面形貌和粗糙度等參數(shù)的精確測(cè)量。該技術(shù)可以應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件檢測(cè)、材料科學(xué)研究等領(lǐng)域,為科研和工業(yè)生產(chǎn)提供了重要的技術(shù)支持。
具體來(lái)說(shuō),Sensofar白光干涉共聚焦技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):
1、高精度:采用白光干涉技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的測(cè)量精度,適用于各種高精度測(cè)量需求。
2、高分辨率:共聚焦技術(shù)使得測(cè)量光束在樣品表面形成非常小的聚焦點(diǎn),具有非常高的橫向分辨率,可以清晰呈現(xiàn)樣品表面的微小細(xì)節(jié)。
3、靈活性強(qiáng):該技術(shù)可以適應(yīng)不同形狀和結(jié)構(gòu)的樣品測(cè)量,支持多種測(cè)量模式和功能,如表面形貌分析、薄膜厚度測(cè)量等。
4、易于操作:Sensofar白光干涉共聚焦儀器采用直觀的軟件界面和強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析功能,使得操作和分析變得簡(jiǎn)單快捷。
總之,Sensofar白光干涉共聚焦技術(shù)是一種高精度、高分辨率、靈活性強(qiáng)的光學(xué)測(cè)量技術(shù),在科研和工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著重要的作用。
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