澤攸SEM/TEM原位分析集成了掃描探針控制單元，可在三維空間內(nèi)對(duì)電學(xué)探針與光纖探針進(jìn)行亞納米級(jí)別精度的操縱。通過電學(xué)探針施加電場(chǎng)，通過光纖施加光場(chǎng)，對(duì)單個(gè)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行操控并進(jìn)行電學(xué)性質(zhì)、光電性質(zhì)的測(cè)量。并可在物性測(cè)量的同時(shí)，動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征，大大地?cái)U(kuò)展了掃描電鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。

澤攸SEM/TEM原位分析性能指標(biāo)：

1、電學(xué)測(cè)量指標(biāo)：
①包含一個(gè)電流電壓測(cè)試單元；
②電流測(cè)量±1.5 A，±100 fA；
③電壓輸出±200 V，±100 nV；
④自動(dòng)電流-電壓（I-V）測(cè)量、電流-時(shí)間（I-t）測(cè)量，自動(dòng)保存。

2、掃描探針操作指標(biāo)：
①粗調(diào)范圍：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；
②細(xì)調(diào)范圍：XY方向18 um，Z方向1.5 um；
③細(xì)調(diào)分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

3、光纖指標(biāo)：
①光纖外徑250 um，保證電鏡系統(tǒng)真空指標(biāo)；
②可選光纖探針、平頭光纖、光纖透鏡；
③可選SMA接頭、FC接頭。

4、力學(xué)傳感器指標(biāo)：
①載荷100 mN（可選0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；
②力測(cè)量實(shí)測(cè)噪聲優(yōu)于5nN（0.1 mN大載荷時(shí)）；
③力測(cè)量實(shí)測(cè)分辨率優(yōu)于5 nN（0.1 mN大載荷時(shí)）；
④自動(dòng)測(cè)量力-距離曲線，自動(dòng)保存。

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