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當(dāng)儀器校驗(yàn)中兩種不同材料的金屬組成熱電偶時(shí)，若它的兩個(gè)結(jié)點(diǎn)處于不同的溫度，變回產(chǎn)生熱電勢。如果把其中一個(gè)結(jié)點(diǎn)置于高頻電磁場中，使它吸收高頻功率而溫度升高，則可通過溫差熱電勢測出高頻功率的大小。由于熱電偶可做成薄膜形式，因此這種功率計(jì)又稱為薄膜熱電式功率計(jì)。

儀器檢測在此頻率范圍內(nèi)功率座的駐波系數(shù)及儀器校準(zhǔn)系數(shù)是否符合規(guī)定的要求。對于通過式功率計(jì)，因此應(yīng)檢查在此頻率范圍內(nèi)，功率測量準(zhǔn)確度是否符合規(guī)定的要求，在所測功率值應(yīng)符合產(chǎn)品規(guī)定的準(zhǔn)確測定的最小功率到最大功率的范圍，通常是在輸入最小功率與最大功率時(shí)，檢查其功率誤差是否符合儀器規(guī)定的測試準(zhǔn)確度。

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