礦泉水生產(chǎn)設(shè)備,純凈水處理設(shè)備 ,富氧活性水處理 ,蘇打水處理設(shè)備,水殺菌消毒設(shè)備 ,桶裝水廠灌裝線
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更新日期2011-12-21 09:45
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萊特萊德 |
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天津電子工業(yè)超純水設(shè)備,天津超純水設(shè)備,天津多晶硅超純水設(shè)備
主要用途:
微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用高純水,半導(dǎo)體、顯象管制造業(yè)用超純水,集成電路板生產(chǎn)清洗用超純水,蓄電池、鋰電池、太陽(yáng)能電池、干電池等生產(chǎn)用水。
1.電子工業(yè)超純水概述 天津電子工業(yè)超純水設(shè)備,天津超純水設(shè)備,天津多晶硅超純水設(shè)備
半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
2.制備電子工業(yè)超純水的工藝流程
電子工業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下3種:
1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→中間水箱→陽(yáng)床→陰床→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過(guò)濾器→用水點(diǎn)
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合制備電子工業(yè)超純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過(guò)濾器→用水點(diǎn)
3、采用反滲透設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟(jì),發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原?rarr;多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過(guò)濾器→用水點(diǎn)
3.EDI結(jié)構(gòu)和工作原理 天津電子工業(yè)超純水設(shè)備,天津超純水設(shè)備,天津多晶硅超純水設(shè)備
EDI常與RO連用, 構(gòu)成RO-EDI純水系統(tǒng)。如上所述,EDI已設(shè)計(jì)成標(biāo)準(zhǔn)模塊,EDI單元就是由若干模塊組合而成。每個(gè)EDI模塊結(jié)構(gòu)如圖 1 所示, 有數(shù)個(gè)雙腔室夾在兩個(gè)電極(加直流電) 之間,呈層疊式板框結(jié)構(gòu);雙腔室包括淡水腔(用D表示) 和濃水腔(用C表示);二腔之間隔以一對(duì)陰、陽(yáng)離子膜(亦稱陰向膜或陽(yáng)向膜) ,陰、陽(yáng)膜間裝填陰陽(yáng)樹脂混合床構(gòu)成D室;該陰、陽(yáng)膜分別與另一D室中的陽(yáng)、陰膜間構(gòu)成C室。
進(jìn)水按一定比例通過(guò)C室和D室。離子在D 室的行為可以理解為四個(gè)過(guò)程:
①離子在電場(chǎng)作用下向濃水室遷移;
②離子與樹脂的結(jié)合;
③水的電離和遷移, 遷移到C室中的H+ 和OH- 離子又結(jié)合成水;
④由于電場(chǎng)作用,離子不斷從樹脂上離解, 使樹脂不斷再生。
與普通混床不同之處在于, 進(jìn)入D室中的陰、陽(yáng)離子先是與樹脂結(jié)合, 而后在直流電場(chǎng)作用下從樹脂上不斷離解, 分別通過(guò)陰、陽(yáng)膜向陽(yáng)極和陰極移動(dòng), 樹脂同時(shí)得以再生。由于上述平衡作用, 在水流方向上形成濃度梯度, 可根據(jù)進(jìn)水情況和出水要求調(diào)節(jié)電流(電壓) 大小, 使流出的水為不含陰、陽(yáng)離子的純水; 由于膜對(duì)陰、陽(yáng)離子的選擇通透性, 進(jìn)入C室的離子不能通過(guò)另一極膜而在C室濃縮。
典型的EDI系統(tǒng)中, 90%~ 95% 的進(jìn)水是通過(guò)D腔的, 5%~ 10% 的進(jìn)水通過(guò)C腔。為了防止結(jié)垢, 濃水用泵強(qiáng)制循環(huán), 高速通過(guò)膜面。濃水部分排放; 排放的濃水可返回RO再處理。
天津電子工業(yè)超純水設(shè)備,天津超純水設(shè)備,天津多晶硅超純水設(shè)備
4.電子工業(yè)超純水設(shè)備特點(diǎn)
電子工業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過(guò)濾器,活性碳過(guò)濾器,鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無(wú)人值守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
5.電子工業(yè)超純水的應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;
3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品;
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