器簡(jiǎn)介：S-3000N是可變壓力的SEM，而S-3000H則是普通的高真空SEM。兩種型號(hào)都使用Windows NT操作環(huán)境，這是用戶非常熟悉的圖形界面操作系統(tǒng)。1280 x 960分辨率的高密度圖像幀存儲(chǔ)器可以幫助獲得并儲(chǔ)存高質(zhì)量的圖像。這兩種型號(hào)SEM的使用都比您想象的更簡(jiǎn)單，性價(jià)比更好，而且也能滿足您未來(lái)的需要。

技術(shù)參數(shù)：
技術(shù)指標(biāo)：
二次電子分辨率 3.0nm (25kV,高真空模式)
VP可變壓力模式分辨率 4.0nm (25kV,可變壓力模式)
放大倍數(shù)范圍 5x~300,000x(65階)
加速電壓 0.3kV~30Kv
可變壓力范圍 1~270Pa
最大樣品尺寸 150mm直徑
圖像移動(dòng)范圍 ±20μm(WD=15mm)
樣品臺(tái)(選項(xiàng))
(1) 超優(yōu)中心樣品臺(tái)
X: 32mm Y: 32mm Z: 5~35mm
R: 360° T: -90°~+90°
自動(dòng)樣品臺(tái)： 無(wú)

(2) 80x40平動(dòng)式樣品臺(tái)
X: 80mm Y: 10mm Z: 5~35mm
R: 360° T: -20°~+90°
圖形移動(dòng)自動(dòng)樣品臺(tái)
軟件：可選

(3)大型優(yōu)中心樣品臺(tái)
X: 100mm Y: 50mm Z: 5~40mm
R: 360°T: -0°~+60°
圖形移動(dòng)自動(dòng)樣品臺(tái)
軟件：可選

(4)冷卻樣品臺(tái)-20
X: 15mm Y: 15mm Z: 15~35mm
R: 無(wú)T: -45°~+45°
自動(dòng)樣品臺(tái)： 無(wú)
電子槍?zhuān)?U型鎢絲
槍偏壓
可加速電壓關(guān)聯(lián)
可變電壓(雙偏壓功能)
檢測(cè)器
SE檢測(cè)器
BSE檢測(cè)器，可變壓力模式
EDX位置 W.D.=15mm, 出入角=35°
操作語(yǔ)言 英語(yǔ)(日語(yǔ))
計(jì)算機(jī)操作系統(tǒng) PC兼容，Windows NT
SEM操作 鼠標(biāo)、鍵盤(pán)旋鈕控制盤(pán)(選件)
掃描方式 TV,慢速(4步),照相(4步),分開(kāi)
顯示器 大屏幕 XGA彩色顯示器(1024 x 768像素)
自動(dòng)調(diào)節(jié)功能
自動(dòng)聚焦，自動(dòng)像散校正
自動(dòng)亮度和對(duì)比度調(diào)節(jié)
自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)節(jié)
數(shù)字圖像儲(chǔ)存 640 x 480像素，1280 x 960像素
圖像格式 BMP
圖像數(shù)據(jù)條顯示
加速電壓，放大倍數(shù)，
微米標(biāo)尺,WD(工作距離),照片放大倍數(shù)
真空度水平,檢測(cè)器,日期,文件號(hào)等
真空系統(tǒng)
全自動(dòng)，DP 570L/Sec，
RP 160L/min x 2 (S-3000N)
RP 160L/min x 1 (S-3000H)
系統(tǒng)保護(hù) 斷電、失真空和缺水保護(hù)

主要特點(diǎn)：
S-3000N和S-3000H的標(biāo)準(zhǔn)功能
1. Windows NT界面。
2. 獨(dú)特的雙偏臺(tái)功能，即使在低電壓也有不錯(cuò)的性能。
3. 和普通PC類(lèi)似的用戶友好操作環(huán)境。
4. 交互式顯示器顯示和鼠標(biāo)操作。
5. 旋鈕和鼠標(biāo)控制都可以用于SEM參數(shù)設(shè)置。