一、光學(xué)膜厚傳感器產(chǎn)品概述:

　　SRPV100光學(xué)膜厚傳感器是一款應(yīng)用于光伏TopCon產(chǎn)品Poly膜厚在線監(jiān)控的傳感器，緊湊集成化設(shè)計(jì)，操作簡便，通過分析干涉形成的反射光譜，準(zhǔn)確表征Poly薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。

　　二、產(chǎn)品特點(diǎn)

　　可覆蓋微絨面和拋光面應(yīng)用場景；

　　對樣品傾斜以及工作距離變化不敏感；

　　測量精度高；

　　高速測量；

　　豐富的工業(yè)測量經(jīng)驗(yàn)。

　　三、測量原理

　　薄膜上下表面反射光由于相互之間的相位差增強(qiáng)或者減弱，相位差取決于光的波長和光程（等于薄膜光的往返距離×折射率），透明薄膜，光程差等于波長整數(shù)倍，反射相長。

　　四、應(yīng)用領(lǐng)域

　　半導(dǎo)體制造

　　在半導(dǎo)體工藝中，需要精確控制各種薄膜（如氧化硅、氮化硅等）的厚度。光學(xué)膜厚傳感器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測薄膜生長過程中的厚度變化，確保薄膜厚度符合集成電路制造的要求。例如，在化學(xué)氣相沉積（CVD）或物理氣相沉積（PVD）過程中，通過光學(xué)膜厚傳感器反饋的信息，可以及時(shí)調(diào)整沉積參數(shù)，保證薄膜質(zhì)量。

　　光學(xué)鍍膜

　　對于光學(xué)鏡片、濾光片等光學(xué)元件的鍍膜，需要精確控制鍍膜層的厚度。光學(xué)膜厚傳感器可以幫助工程師在鍍膜過程中準(zhǔn)確地沉積所需的膜層厚度，以達(dá)到設(shè)計(jì)要求的光學(xué)性能，如透光率、反射率等。例如，在紅外濾光片的制造中，通過光學(xué)膜厚傳感器精確控制鍍膜厚度，可以使濾光

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