美國(guó)EZ4小型勻膠機(jī) 旋涂?jī)x 甩膠機(jī)的詳細(xì)描述：

EasyCoater 4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和單片機(jī)控制，文本顯示器人機(jī)界面。

制造商：Schwan technology, USA

◆   結(jié)構(gòu)緊湊

EZ4外型尺寸為：210(W)*250(D)*200(H)，特別適合放于手套箱內(nèi)操作。最大可旋涂4寸圓晶的底物。

◆   簡(jiǎn)單易用

文本顯示屏，界面簡(jiǎn)單易用，清晰的功能按鍵，方便靈活操作。

◆  程控操作

可提供單步或多步編程旋涂工藝運(yùn)行，最多可運(yùn)行5步不同轉(zhuǎn)速及加速度的旋涂程序。

◆   性能穩(wěn)定

工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)，單片機(jī)控制，轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定，重復(fù)性好。

◆   設(shè)計(jì)新穎

全鋁合金外殼，陽(yáng)極氧化鋁耐腐蝕機(jī)身。全PP注塑耐腐蝕易清潔旋轉(zhuǎn)腔，PC耐腐蝕透明蓋。

產(chǎn)品參數(shù)說(shuō)明： 

? ●PP耐腐蝕、易清潔注塑內(nèi)腔，HDPE耐腐蝕真空吸盤

? ●陽(yáng)極氧化鋁耐腐蝕機(jī)身，美觀耐用

? ●耐溶劑性PC透明蓋子，恒定扭矩定位功能

? ●文本顯示器，按鍵控制

? ●75W直流無(wú)刷電機(jī)，單片機(jī)控制

? ●可處理碎片（小于1cm）至4英寸圓晶底物

? ●轉(zhuǎn)速可控范圍：200-8000RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM

? ●加速度可控范圍：100-10000RPM/S

? ●可進(jìn)行多步程序運(yùn)行，最多編輯運(yùn)行5步程序

●寬輸入電壓適用：AC100-230V輸入

產(chǎn)品外形尺寸：

 外形尺寸：210 (W) * 250 (D) * 204 (H)

產(chǎn)品附件選擇：

?　◆ 標(biāo)配四只真空載物盤（3/16”,1/2”,1”&2.25”），適于碎片至4寸圓晶的處理

?　◆ 定制載物盤可選，根據(jù)基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式載物盤設(shè)計(jì)加工

?　◆ 用于薄膜基片可提供定制微孔真空載物盤

?　◆ 無(wú)油真空泵（抽氣量15L/min以上）或真空發(fā)生器可選