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北京文德科技有限公司

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SC100標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī) 旋涂儀 甩膠機(jī) 旋轉(zhuǎn)涂膜儀 勻膠臺(tái)

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SC100標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī) 旋涂儀 甩膠機(jī) 旋轉(zhuǎn)涂膜儀 勻膠臺(tái)的詳細(xì)描述：
     SmartCoater®精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的晶圓底物旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
勻膠機(jī)，旋涂儀 
不銹鋼外殼比塑料或者鍍漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用于track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中領(lǐng)先的最大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定和極高的可重復(fù)性
特性優(yōu)點(diǎn)：
  • 最新的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。
  • 7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。
  • Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。
  • 標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。
  • 采用工業(yè)級別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
  • 機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，永不生銹，便于清洗。
  • 排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。
  • 透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)完全隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
主要性能指標(biāo)：
  • 主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
  • 旋涂程序：最多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒
  • 轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm(可選更高速)
  • 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
  • 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1%
  • 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm
  • 工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec
  • 支持wafer尺寸1cm-200mm
  • 旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）
  • 設(shè)備尺寸  32cm W × 44cm D × 30cm H

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